電子(zǐ)半導體(tǐ)石(shí)墨是(shì)一種在(zài)電子和半(bàn)導體(tǐ)行業(yè)中具有廣泛應用前(qián)景的(dí)石墨(mò)材(cái)料。通(tōng)過(guò)對(duì)傳(chuán)統(tǒng)石墨(mò)進(jìn)行(háng)改性(xìng)處(chǔ)理,使其具備(bèi)了半導體特(tè)性的一類材料(liào)。這種改性(xìng)處(chǔ)理使得(dé)石(shí)墨在保(bǎo)持(chí)原有(yǒu)優良導電(diàn)性能(néng)的(dí)基(jī)礎上(shàng),又具備(bèi)了與(yǔ)傳(chuán)統(tǒng)半導(dǎo)體相(xiāng)似(sì)的(dí)導(dǎo)電和導熱特性,從而在電子(zǐ)器件中能夠發揮重要(yào)作用。
1,防(fáng)護措(cuò)施:
防(fáng)塵防吸入(rù):石(shí)墨(mò)具有(yǒu)極(jí)細的顆粒,容易(yì)懸浮在空(kōng)氣(qì)中(zhōng)並被吸入呼(hū)吸(xī)道,對人(rén)體健康產(chǎn)生影(yǐng)響。因(yīn)此,操(cāo)作時(shí)應戴(dài)上合(hé)適(shì)的(dí)防(fáng)護(hù)口(kǒu)罩(zhào)和手套,防止(zhǐ)石墨(mò)粉(fěn)塵(chén)進入呼(hū)吸(xī)道和(hé)皮(pí)膚(fū)。
避免直(zhí)接接(jiē)觸導電體:石墨具(jù)有高(gāo)的(dí)導電(diàn)性,與金屬或其他導(dǎo)電材(cái)料接(jiē)觸時(shí)可能(néng)導致(zhì)電路短路或觸(chù)電(diàn)危險。在處理石墨時(shí)應特別(bié)注(zhù)意避(bì)免直(zhí)接(jiē)接(jiē)觸導(dǎo)電體,並在操作(zuò)台麵上鋪設絕(jué)緣材料。
2,工作環境(jìng)及加工要(yào)求:
良好的(dí)工作環境(jìng):減少(shǎo)碰撞,保持(chí)工(gōng)作環境清潔,定(dìng)時(shí)檢(jiǎn)查電路,在最佳溫度(dù)下組織出產,減少空(kōng)氣對石(shí)墨的氧化程(chéng)度(dù)等,有(yǒu)助(zhù)於延(yán)長石墨(mò)板(bǎn)的(dí)使用壽(shòu)命。
加(jiā)工質(zhì)量:加工必(bì)須仔(zī)細,達(dá)到規範(fàn)目(mù)標,比如浸漬要(yào)均(jūn)匀(yún),使(shǐ)電阻率基本(běn)保(bǎo)持一致,避免(miǎn)生(shēng)產(chǎn)過程中出現部分(fēn)完好而部分腐(fǔ)蝕(shí)嚴重的情況,從而減少浪(làng)費。
3,高(gāo)溫(wēn)下(xià)的注意事項:
有害氣體(tǐ)釋(shì)放(fàng):石墨在(zài)高溫情(qíng)況(kuàng)下(xià)可(kě)能會釋放(fàng)出(chū)有害(hài)氣體,如一氧化碳(tàn)和二氧(yǎng)化碳等,因此在(zài)加工(gōng)石墨時應特(tè)別注(zhù)意通風換(huàn)氣,以減少(shǎo)有害(hài)氣(qì)體對人體的(dí)影響(xiǎng)。
4,高(gāo)純(chún)度(dù)要求:
在半(bàn)導(dǎo)體製造中,高純(chún)度(dù)是(shì)關(guān)鍵要(yào)求。高純(chún)石墨(mò)部件廣(guǎng)泛應用(yòng)於(yú)半導體(tǐ)晶體(tǐ)生長(cháng),外延(yán),離子(zǐ)注(zhù)入(rù),等(děng)離(lí)子蝕刻等(děng)製(zhì)造工(gōng)藝(yì)中。石墨中的雜質含(hán)量應(yīng)保持(chí)在百(bǎi)萬分之五(wǔ)以(yǐ)下(xià),以(yǐ)滿足(zú)半(bàn)導體(tǐ)製造(zào)的高純度需求(qiú)。
5,特殊性能(néng)的(dí)應用:
耐高溫(wēn):石(shí)墨(mò)融點和沸點都很高(gāo),熱膨(péng)脹係數(shù)小,強(qiáng)度(dù)隨溫度升高而(ér)加強。在半(bàn)導體製造的高溫環(huán)境下,石墨(mò)能(néng)保持良好的(dí)性(xìng)能(néng)。
導(dǎo)電導熱性:石(shí)墨具有良(liáng)好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性(xìng),超(chāo)過鋼(gāng),鐵,鉛等金(jīn)屬材(cái)料,在半(bàn)導體(tǐ)製造中的(dí)加熱器(qì),坩(gān)堝等部(bù)件(jiàn)中(zhōng)有(yǒu)重要應(yīng)用(yòng)。
化學穩(wěn)定(dìng)性:常溫(wēn)下(xià)石(shí)墨有(yǒu)良好的化學(xué)穩定性,能耐酸,耐鹼和耐有機溶劑的(dí)腐(fǔ)蝕,適(shì)用於(yú)半導(dǎo)體(tǐ)製造中的(dí)多(duō)種工藝環(huán)境。
6,存(cún)儲與運輸(shū):
防潮(cháo)防(fáng)破損:石墨(mò)材料應儲存(cún)在幹燥(zào),陰(yīn)涼的(dí)地方(fāng),遠(yuǎn)離(lí)火(huǒ)源(yuán)和熱(rè)源,避(bì)免陽(yáng)光直射。同時,要(yào)注(zhù)意(yì)防(fáng)止(zhǐ)石墨材(cái)料(liào)的包裝破(pò)損,以(yǐ)免影(yǐng)響(xiǎng)其(qí)質(zhì)量(liáng)。
